Силициевият карбид (SiC), известен още като карборунд (техн. название) или муасанит (минероложко название, дадено от френския учен д-р Хенри Моазан, който за първи път го е идентифицирал през 1905 г.), е съединение в твърдотелна форма, съдържащо 50% въглеродни и 50% силициеви атоми. SiC, съществуващ в естествено състояние в природата, може да бъде намерен в малки количества в редки геоложки места като съдържащи диамант скални комини, кимберлитни вулканични отвори и дори в някои видове метеорити. Всъщност, цялото количество силициев карбид, продаван в света, е синтетичен.
Този материал е едновременно керамика и полупроводник и притежава изключителни свойства. Той е много твърд (почти толкова твърд колкото диаманта), химически инертен, устойчив при високи температури (>1000°С), оксидация и неблагоприятни условия. Има висока термична проводимост, така че може да провежда топлина като металите. Съединението се използва като средство за шлифоване (абразив) в индустрията повече от цяло столетие (основен продукт на компанията “Карборунд”), но областите, в които може да намери приложение в наши дни, се простират до въздухоплаването (високотемпературни двигатели, спирачни дискове), съставни съединения, филтри за отработени частици и нагряващи елементи.
Наскоро кристали от SiC са използвани в бижутерията под името моасанит, тъй като неговите оптични свойства са много близки до тези на диаманта. Основното приложение на SiC обаче е в електрониката. Електронни прибори, направени именно от SiC, би трябвало да функционират при по-високи температури, по-висока мощност, по-висока честота и по-неблагоприятна околна среда, отколкото тези направени от други полупроводникови материали (силиций, германий, галиев арсенид....). Все пак, за да бъдат достигнати присъщите за SiC електронни свойства, е задължително да бъдат получени кристали с високо качество на материала.
Бижутериен камък от Моазанитен кристал
Д-р. Хенри Моазан (29/09/1852-20/02/1907)
Корица от реклама на компанията “Карборунд” от 1894 за нейния нов продук подобен на диаманта
Получаване на SiC
Кристал е материал в твърдотелна форма, съставен от правилно, периодично подредени атоми. Почти всеки твърдотелен материал (метал, сплав, керамика, соли, пластмаса....) може да бъде получен във вид на кристал, ако условията за подреждане и организация на неговите атоми бъдат постигнати. В повечето случаи на атомите трябва да бъде предадена някаква енергия (топлина или налягане), за да подпомогне тяхното правилно позициониране в тримерна пространствена решетка. Кристалите, естествено формирани в природата, обикновено са създадени самопроизволно, но този начин на израстване създава много дефекти (несъвършенства в подредеността, примеси от други материали....). Тъй като електронната индустрия се нуждае от кристали с високо качество, за да бъде подобрено действието на създадените устройства, най-добрият самопроизволно израснал кристал се използва като зародиш за по-нататъшно израстване и/или подобряване на качеството. Затова се прилага техниката на израстване чрез повторение на съвършена кристална структура, наречена епитаксия (от гръцки език “епи=над” и “таксис=следвайки определени начин”), като се използват някои реагенти и зародишен кристал.
Основна елементарна клетка на диаманта
Основна елемнтарна клетка на силициевия карбид
Напречно сечение на атомната последователност на интерфейса между кристален силиций и епитаксиален слой от силициев карбид
Основна схема на епитаксиалното израстване от газово състояние
Важно е да се отбележи, че периодичността на подреждане (тримерната атомна решетка) на атомите в кристала много често зависи от условията на кристализация. Най-често даваният пример е този за въглеродните атоми, които при нормална температура и налягане изграждат графита (въглен), но крайно високи температура и налягане водят до образуване на диаманта. Тази способност за израстване в различни форми се нарича полиморфизъм.
SiC представлява специален случай на полиморфизма, наречен политипност (polytypism), където промяната в последователността на подреждане на атомите се появява само в определени направления на кристалната решетка. Поради това специфично свойство, което позволява почти безкраен брой разновидности на кристалната решетка, са открити десетки политипове на SiC.
Въпреки това, обикновено само три от тях се произвеждат, защото са по-стабилни. Те се наричат 6H-SiC, 4H-SiC и 3C-SiC (буквите H и C се отнасят за симетрията на кристала, H за хексагонална симетрия и C за кубична симетрия). Повечето физични свойства на тези политипове са идентични, с изключение на електронните. За различните електронни прибори всеки политип притежава своите специфични предимства. Например, 4H е по-подходящ за работа при големи мощности (например протичане на ток при високи напрежения) и високи температури (например двигатели на автомобили или самолети), докато 3C би трябвало да е по-добър за високо-честотни приложения (например радари).
Разлика в атомната последователност на основните политипове на SiC
Поради високата термична стабилност на SiC, трябва да бъде отдадено голямо количество енергия на материала, за да е възможно кристалното израстване. Обичайно използваната техника за израстване изисква температури над 2200°С. Необходимостта от високи температури прави процеса на израстване много труден за контролиране. Нещо повече, тези условия позволяват израстването само на хексагоналните политипове (6H и 4H), тъй като политипа 3C е стабилен при по-ниски температури (под 2000°С), където енергията отдавана на атомите, не е достатъчна за кристално израстване.
Затова до този момент няма търговска наличност на кристали от 3C-SiC с достатъчно добро качество за електронни приложения, докато кристали от 4H и 6H с достатъчно добро качество могат да бъдат закупени от различни компании.
Израстване на кубични SiC
Два съществени проблема трябва да бъдат разрешени, за да бъде възможно получаването на кристали от 3C-SiC, подходящи за използване в електронни приложения:
1)
да се намери подходящ зародиш за епитаксия на 3C (т.к. не е достъпен кристал от 3C с достатъчно добро качество);
2)
да бъдат създадени подходящи техники за израстване, които биха могли да допринесат за получаване на 3C с добро кристално качество (ниска плътност на дефектите) , дори при ниски температури (подходящи за стабилизация на 3C).
Наскоро в Европа започна разработването на нови техники на израстване, целящи получаване на кубичния политип 3С. Те показват много обещаващи и допълващи се резултати, защото едната позволява отлагането на слоеве от 3C (дебелина от порядъка на μm) върху 6H (или 4H) подложки, а другата израстването на много по-дебел 3C слой (с дебелина от няколко десетки μm до няколко mm), като се запазва качеството на използвания 3C зародиш.
На международно ниво няма реален конкурент, използващ подобни технологични процеси, което означава, че Европа има преднина в тази специфична област и ще изпълнява водеща роля.
Епитаксиален слой от 3 C - SiC , получен върху зародиш от 6 H – SiC и с голяма плътност на дефектите.
Висококачествен епитаксиален слой от 3 C - SiC , получен върху зародиш от 6 H – SiC
Цели на проекта MANSiC
Настоящият MANSiC консорциум събира групи, развиващи тези нови технологии за кристално израстване заедно с други европейски лаборатории с международно призната експертност в областта на SiC за електронни приложения. Тези общи усилия със сигурност биха позволили разработването на алтернативен, европейски търговски източник за кристали от 3C-SiC с по-добро качество от съществуващия комерсиален продукт. Такъв материал с подобрени качества ще бъде характеризиран и тестван за първи път (от полиране на повърхността до създаване на прибори) с крайна цел създаване на устройства с нови и/или подобрени характеристики.
Такъв сложен и взаимосвързан изследователски проект е отлична основа за организиране на обучителен проект за млади изследователи в областта на физиката на твърдото тяло и материалознанието. Докторанти и млади учени ще бъдат обучени в различни области: от нови техники на израстване, до характеризиране на полупроводникови материали и създаването на електронни прибори. Ще бъдат организирани семинари и обучителни школи, които ще осигурят на младите изследователи необходимата научна основа и ще им дадат възможност за представяне на тяхната работа и резултати пред научната общност.